В зависимости от методов производства и областей применения промышленные газы делятся на основные (массовые) газы и специальные газы. Специальные газы подразделяются на высокочистые газы, стандартные газовые смеси и электронные специальные газы. Сферы применения электронных специальных газов обширны и включают интегральные схемы, дисплейные панели, фотоэлектрические элементы, светодиоды и т.д. Основные технологические процессы производства специальных газов включают синтез газа, очистку газа, приготовление газовых смесей, обработку газовых баллонов, заправку газа и др. Заправка газа представляет собой процесс наполнения газовых баллонов и других сосудов под давлением газом за счет разности давлений. Повышение чистоты специальных газов является ключевым техническим ограничением. К чистоте электронных специальных газов предъявляются строгие требования в производстве интегральных схем, поскольку даже следовые примеси в процессе обработки чипов могут привести к серьезным дефектам продукции. Чем выше чистота специальных газов, тем выше выход годной продукции и лучше характеристики конечного изделия. В связи с непрерывным развитием технологий производства микросхем точность изготовления продукции постоянно растет, что обуславливает повышение требований к чистоте электронных специальных газов, используемых в производстве интегральных схем.