제조 방법과 응용 분야에 따라 산업용 가스는 대량 가스와 특수 가스로 분류됩니다. 특수 가스는 고순도 가스, 표준 가스 및 전자 특수 가스로 나눌 수 있습니다. 전자 특수 가스의 하류 응용 분야는 비교적 광범위하며, 집적 회로, 디스플레이 패널, 태양광, LED 등을 포함합니다. 특수 가스의 주요 생산 공정에는 가스 합성, 가스 정제, 가스 혼합, 가스실린더 처리, 가스 충전 등이 포함되며, 가스 충전은 압력 차이를 이용하여 가스를 가스실린더 등의 압력용기에 주입하는 것을 의미합니다. 특수 가스의 순도 향상은 핵심 기술 병목 현상입니다. 집적 회로는 전자 특수 가스의 순도에 대해 매우 까다로운 요구 사항을 가지고 있는데, 이는 칩 가공 과정에서 극미량의 불순물이라도 제품의 중대한 결함을 초래할 수 있기 때문입니다. 특수 가스의 순도가 높을수록 제품의 수율이 높아지고 성능이 더 우수해집니다. IC 칩 공정 기술이 지속적으로 발전함에 따라 제품의 생산 정밀도가 점점 높아지고 있으며, 집적 회로 제조에 사용되는 전자 특수 가스에도 더 높은 순도 요구 사항이 제기되고 있습니다.