Je nach Herstellungsverfahren und Anwendungsbereich lassen sich Industriegase in Massengase und Spezialgase unterteilen. Spezialgase lassen sich in hochreine Gase, Standardgase und elektronische Spezialgase unterteilen. Die nachgelagerten Anwendungen von elektronischen Spezialgasen sind breit gefächert und umfassen integrierte Schaltkreise, Displaypanels, Photovoltaik, LEDs usw. Die wichtigsten Produktionsprozesse von Spezialgasen umfassen Gassynthese, Gasreinigung, Gasmischung, Gasflaschenbehandlung, Gasbefüllung usw., wobei die Gasbefüllung das Einfüllen von Gas in Gasflaschen und andere Druckbehälter durch Druckdifferenz bezeichnet. Die Steigerung der Reinheit von Spezialgasen stellt einen zentralen technologischen Engpass dar. Integrierte Schaltkreise stellen strenge Anforderungen an die Reinheit elektronischer Spezialgase, da bereits geringste Verunreinigungen während der Chipbearbeitung zu schwerwiegenden Produktmängeln führen können; je höher die Reinheit des Spezialgases, desto höher die Ausbeute und desto besser die Leistung des Produkts. Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der IC-Chip-Prozesstechnologie wird die Produktionsgenauigkeit der Produkte immer höher, was auch höhere Reinheitsanforderungen an die für die Herstellung integrierter Schaltkreise verwendeten elektronischen Spezialgase stellt.