Dependiendo del método de preparación y del campo de aplicación, los gases industriales se pueden dividir en gases a granel y gases especiales. Los gases especiales se pueden dividir en gases de alta pureza, gases estándar y gases especiales electrónicos. Las aplicaciones posteriores de los gases especiales electrónicos son amplias, incluyendo circuitos integrados, paneles de visualización, fotovoltaica, LED, etc. Los principales procesos de producción de gases especiales incluyen la síntesis de gases, la purificación de gases, la mezcla de gases, el tratamiento de cilindros de gas, el llenado de gas, etc., donde el llenado de gas se refiere a la introducción de gas en cilindros de gas y otros recipientes a presión mediante la diferencia de presión. El aumento de la pureza de los gases especiales es un cuello de botella tecnológico central. Los circuitos integrados tienen requisitos estrictos para la pureza de los gases especiales electrónicos, ya que durante el procesamiento de chips, incluso cantidades mínimas de impurezas pueden provocar defectos graves en el producto; cuanto mayor sea la pureza del gas especial, mayor será el rendimiento del producto y mejor su desempeño. Con el continuo desarrollo de la tecnología de procesos de chips IC, la precisión de producción de los productos es cada vez mayor, lo que también plantea requisitos de pureza más altos para los gases especiales electrónicos utilizados en la fabricación de circuitos integrados.