In base ai metodi di preparazione e ai campi di applicazione, i Gas industriali possono essere suddivisi in gas di base e Gas speciali. I Gas speciali possono essere suddivisi in gas ad alta purezza, gas standard e gas speciali elettronici. Le applicazioni a valle dei gas speciali elettronici sono ampie, tra cui circuiti integrati, pannelli per display, fotovoltaico, LED, ecc. I principali processi di produzione dei Gas speciali includono sintesi del gas, purificazione del gas, miscelazione del gas, trattamento delle Bombole e riempimento del gas, ecc. Il riempimento del gas consiste nell'immettere il gas nelle Bombole o in altri Recipienti a pressione sfruttando una differenza di pressione. Il miglioramento della purezza dei Gas speciali rappresenta un collo di bottiglia tecnologico fondamentale. I circuiti integrati richiedono standard di purezza molto rigorosi per i gas speciali elettronici, poiché anche tracce minime di impurità possono causare gravi difetti durante la lavorazione dei chip. Maggiore è la purezza dei Gas speciali, maggiore sarà la resa e migliori le prestazioni del prodotto. Con il continuo sviluppo delle tecnologie di processo dei chip IC, la precisione di produzione dei prodotti aumenta costantemente, richiedendo standard di purezza ancora più elevati per i gas speciali elettronici utilizzati nella produzione di circuiti integrati.