بناءً على طرق التحضير ومجالات التطبيق المختلفة، يمكن تقسيم الغاز الصناعي إلى غازات سائبة وغاز خاص. يمكن تقسيم الغاز الخاص إلى غازات عالية النقاء، وغازات قياسية، وغازات إلكترونية خاصة. تتمتع تطبيقات المصب للغازات الإلكترونية الخاصة بنطاق واسع، بما في ذلك الدوائر المتكاملة، ولوحات العرض، والطاقة الشمسية الكهروضوئية، وLED وغيرها. تشمل عمليات الإنتاج الرئيسية للغاز الخاص تخليق الغاز، وتنقية الغاز، وخلط الغاز، ومعالجة أسطوانة الغاز، وملء الغاز، إلخ. يشير ملء الغاز إلى ضخ الغاز في أسطوانة الغاز وغيرها من أوعية الضغط من خلال فرق الضغط. يُعد تحسين نقاء الغاز الخاص عنق زجاجة تقنيًا رئيسيًا. تفرض الدوائر المتكاملة متطلبات صارمة على نقاء الغازات الإلكترونية الخاصة، لأن الكميات الضئيلة للغاية من الشوائب قد تؤدي إلى عيوب كبيرة في المنتج أثناء معالجة الرقائق. وكلما زاد نقاء الغاز الخاص، ارتفعت نسبة إنتاج المنتج وتحسنت أدائه. ومع التطور المستمر لتقنيات تصنيع رقائق IC، تزداد دقة إنتاج المنتجات بشكل متزايد، مما يطرح متطلبات أعلى للنقاء للغازات الإلكترونية الخاصة المستخدمة في تصنيع الدوائر المتكاملة.