特種氣體充裝
发布日期：2024-05-20 来源： 浏览次数：60
根據製備方法和應用領域的不同，Industrial Gas 可分為大宗氣體和 Specialty Gas。Specialty Gas 可分為高純氣體、標準氣體和電子特氣。電子特氣的下游應用較為廣泛，包括積體電路、顯示面板、光伏、LED等。Specialty Gas 的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、Gas Cylinder 處理、氣體充裝等，氣體充裝是指透過壓力差將氣體充入 Gas Cylinder 等 Pressure Vessel。提升 Specialty Gas 純度為核心技術瓶頸。積體電路對電子特氣的純度有著嚴苛的要求，因為在晶片加工過程中，極微量的雜質也可能導致產品重大缺陷，Specialty Gas 純度越高，產品的良率越高、性能越優。伴隨IC晶片製程技術的不斷發展，產品的生產精度越來越高，用於積體電路製造的電子特氣亦提出了更高的純度要求。
根據製備方法和應用領域的不同，Industrial Gas 可分為大宗氣體和 Specialty Gas。Specialty Gas 可分為高純氣體、標準氣體和電子特氣。電子特氣的下游應用較為廣泛，包括積體電路、顯示面板、光伏、LED等。Specialty Gas 的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、Gas Cylinder 處理、氣體充裝等，氣體充裝是指透過壓力差將氣體充入 Gas Cylinder 等 Pressure Vessel。提升 Specialty Gas 純度為核心技術瓶頸。積體電路對電子特氣的純度有著嚴苛的要求，因為在晶片加工過程中，極微量的雜質也可能導致產品重大缺陷，Specialty Gas 純度越高，產品的良率越高、性能越優。伴隨IC晶片製程技術的不斷發展，產品的生產精度越來越高，用於積體電路製造的電子特氣亦提出了更高的純度要求。
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