Когда речь заходит о производстве чипов, люди часто думают о таких ключевых компонентах, как литографические установки и кремниевые пластины, но мало кто замечает, что мембранные компрессоры также играют важнейшую роль в обеспечении ключевых этапов производства чипов. Недавно Лю Цзюань, заместитель генерального директора компании Zhongding Hengsheng Gas Equipment (Wuhu) Co., Ltd. и руководитель маркетингового центра, выступила в программе «Раскрывая секреты чипов», открыв зрителям тайну этой критически важной технологии — она выступает в роли «газового управляющего» в производстве чипов, поддерживая стабильную работу полупроводниковой отрасли с высокой точностью и надежностью.

Процесс производства чипов требует большого количества сверхчистых специальных газов, таких как гелий, аргон, водород и азот, которые широко используются в ключевых процессах, таких как травление, осаждение, литография и ионная имплантация. Чистота и стабильность подачи газа напрямую определяют выход годных изделий и производительность чипов, а мембранные компрессоры служат «ключевой движущей силой», обеспечивающей этот процесс.

В частности, услуги, предоставляемые мембранными компрессорами чиповой индустрии, сосредоточены на «сжатии и подаче специальных газов». Госпожа Лю отметила, что специальные газы, используемые в производстве чипов, обычно хранятся под низким давлением, тогда как производственное оборудование требует газа высокого давления для правильной работы. Это требует от компрессоров выполнения «операций по повышению давления». Однако обычные компрессоры склонны к утечкам газа и загрязнению. Если примеси смешаются со специальными газами, это может привести к дефектам чипов или даже их браку. По сравнению с традиционными компрессорами, мембранные компрессоры используют уникальную конструкцию с изоляцией металлической мембраной, гарантирующую, что газ никогда не контактирует со смазочным маслом или металлическими компонентами, тем самым поддерживая чрезвычайно высокую чистоту при сжатии.

Помимо «предотвращения загрязнения и высокой точности», мембранные компрессоры также обеспечивают «непрерывную и стабильную энергетическую поддержку» производства чипов. Госпожа Лю объяснила, что благодаря технологическим итерациям компания «Чжундин Хэншэн» достигла высокоэффективной и стабильной работы своего оборудования, отвечая требованиям круглосуточного непрерывного производства на фабриках по выпуску чипов. Процесс производства чипов сложен и непрерывен, и любое прерывание подачи газа может остановить производственную линию, что приведет к значительным убыткам. Благодаря оптимизации материалов для ключевых изнашиваемых компонентов и повышению помехозащищенности оборудования, мембранные компрессоры компании «Чжундин Хэншэн» минимизируют частоту отказов, служа «надежной опорой» для фабрик по производству чипов.

Следует отметить, что технологические прорывы этого «помощника чиповой индустрии» были достигнуты долгим и трудным путем. Госпожа Лю вспомнила в программе, что технология мембранных компрессоров в Китае зародилась в 1950–1960-х годах, причем раннее производство ограничивалось устройствами малого масштаба. Только после того, как Ло Кэцинь, основатель компании «Чжундин Хэншэн», добился прорыва в «увеличении масштабов оборудования» и получил третью премию Научно-технической награды китайской машиностроительной промышленности, отечественное оборудование постепенно вышло на международный уровень. Сегодня мембранные компрессоры компании «Чжундин Хэншэн» заменили импортную продукцию и используются несколькими крупными внутренними газовыми компаниями, разрушив монополию иностранных брендов в этой области.

Этот междисциплинарный диалог в рамках программы «Раскрывая секреты чипов» не только познакомил более широкую аудиторию с мембранными компрессорами, но и подчеркнул важный вывод: развитие чиповой индустрии зависит от технологической поддержки нишевых секторов upstream и downstream. От литографических установок до мембранных компрессоров — каждый прорыв этих «незамеченных героев» способствует автономному и контролируемому развитию полупроводниковой отрасли Китая.